Category: наука

Category was added automatically. Read all entries about "наука".

ФИОП запускает курс по применению методов биоинформатики в клинической онкологии

Фонд инфраструктурных и образовательных программ (ФИОП) совместно с Федеральным научно-клиническим центром детской гематологии, онкологии и иммунологии им. Дмитрия Рогачева (ФНКЦ ДГОИ) впервые в России запускает образовательный курс для врачей-онкологов по биоинформатическим методам анализа данных для диагностики и лечения онкологических заболеваний — «ОМИКСные технологии в клинической онкологии».

Курс пройдет на базе ФНКЦ ДГОИ им. Дмитрия Рогачева с 10 по 14 сентября 2016 года. Для участия необходимо заполнить заявку.

Collapse )

Ответ русской зиме, или Покрытие «антилед»

Несколько лет назад на российском автомобильном рынке появилось покрытие «антидождь» западного производства. Состав применялся в основном для стекол, фар и зеркал, отлично работал весной, летом и осенью, но российская зима оказалась сильнее. Все жидкости зарубежного производства не выдерживали минусовую температуру. Тогда группа российских ученых в наноцентре «Дубна» занялась разработкой нового покрытия, устойчивого к серьезным перепадам температур и российским морозам. Интерес к разработке подогрел и материал в профильном издании Nanotech magazine в начале 2013 года: рынок нанопокрытий оценили в $2,5 млрд. Группу технологов возглавил Роман Владимирович Новичков, компанию назвали «Защитные покрытия».



Collapse )

Открытие центров ядерной медицины в Центральном Федеральном Округе

— А нас в квартире газ, а у вас?
— А у нас циклотрон! :)

Сегодня в Липецкой области состоялось открытие сети Центров ядерной медицины. Первыми ласточками стали Центр по производству радиофармацевтических препаратов (РФП) в Ельце и Центр позитронно-эмиссионной и компьютерной томографии (ПЭТ/КТ) в Липецке.

Зачем это нужно и как работает?




Collapse )

В Британской Национальной лаборатории SuperSTEM появился электронный микроскоп, различающий атомы

Nion Hermes Scanning Transmission Electron Microscope стоит 3,7 млн фунтов стерлингов ($ 5,5 млн) и позволяет увидеть объекты в миллион раз меньше человеческого волоса. Главный фокус электронного микроскопа заключается в том, что вместо пучка фотонов, как обычные световые микроскопы, он использует пучок электронов. Длина волн электронов меньше, что позволяет получать большее увеличение при лучшем разрешении.

1426094291146986
Микрофотография частицы сплава меди и серебра на поверхности алюминия

Collapse )

ФИОП и журнал «Русский репортер» провели медиа-эксперимент

Фонд инфраструктурных и образовательных программ и журнал «Русский репортер» провели экспериментальный медиа проект «Нано100. Люди». Его результатом стал социальный срез из ста портретов и интервью молодых ученых в 10 городах России, которые занимаются созданием, развитием и продвижением нанотехнологий.

Slide_RusRep_2014

Collapse )

Наноцентр Мордовии внедрил на производство первую инновационную установку водоподготовки

Инновационную технологию очистки воды без химических реагентов и биологических материалов внедрили в Центре нанотехнологий и наноматериалов в Мордовии. Нововведение поможет снизить затраты на эксплуатацию оборудования на производстве. Сама установка производится на основе блочно-модульной конструкции, что позволяет достаточно просто адаптировать ее для нужд потребителей в зависимости от исходных условий и необходимых объемов очистки воды. На очереди в разработках наноцентра выход на рынок питьевого водоснабжения коттеджных поселков и небольших городов.

industrial_wastewater1

Collapse )

Mapper Lithography приступила к производству ключевых элементов литографического оборудования

На территории Технополиса «Москва» запущена линия по производству одного из наиболее наукоемких и центральных компонентов безмасочных литографов голландской компании Mapper Lithography — элементов электронной оптики на основе МЭМС (микроэлектромеханических систем). Компания, одним из акционеров которой является РОСНАНО, вложила в организацию нового производства в Технополисе «Москва» около 1 млрд рублей.



В торжественной церемонии запуска приняли участие Мэр Москвы Сергей Собянин, председатель правления ООО «УК «РОСНАНО» Анатолий Чубайс и сооснователь Mapper Lithography Артур дель Прадо.


Cлева направо: генеральный директор Технополис «Москва» Игорь Ищенко, мэр Москвы Сергей Собянин, Председатель правления ООО «УК «РОСНАНО» Анатолий Чубайс

Collapse )

Безмасочная многолучевая электронная литография от Mapper Lithography

Кто-то вероятно уже слышал о том, что Роснано в конце 2012-го года инвестировала в компанию-разработчика оборудования электронной литографии Mapper Lithography. Что и как они делают, спасет ли это отечественную микроэлектронную промышленность — узнаем в этой статье.

Как мы помним, производство микросхем подразумевает последовательную обработку полупроводниковой пластины через экспонированный слой фоторезиста, изображение на котором обычно формируется оптическим способом: «сканер» через уменьшающий объектив проецирует изображение фотошаблона.

Этот подход имеет ряд недостатков: необходимость изготовления фотошаблонов для каждой новой микросхемы (опустим тут возможность группового производства) — приводит к тому, что продукты обязаны быть крупносерийными, миллионы штук, чтобы окупать стоимость фотошаблонов (до нескольких миллионов $ на каждый тип микросхемы). И с другой стороны — длина волны света ограничивает минимальные размер рисуемых элементов. Сейчас мировая промышленность уже вплотную подошла к теоретическому пределу разрешения оптической литографии: ~35nm для сканеров NA=1.35 с ArF лазерами на длине волны 193нм и ~18нм для литографии на жестком ультрафиолете EUV (однако в серийном производстве это пока не используется).

Есть и альтернатива: экспонировать фоторезист не светом, а электронным пучком — получается электронная литография. Электронный пучок можно фокусировать в точку гораздо меньшего размера, даже 1нм не проблема, но появляются и новые проблемы.

На фотографии — симуляция попадания электрона в электронрезист, демонстрирующая проблему с разрешением электронрезиста из-за рассеяния электронов.

Ограничения электронной литографии

Экспозиция
Для того, чтобы «засветить» электронрезист — на единицу площади должно попасть определенное количество электронов. Для типичных хороших электрон-резистов — экспозиция получается порядка 30 микрокулон на квадратный сантиметр. Это значит, что один луч с током 10nA (10 нанокулон в секунду) засветит 300мм пластину площадью 706 см2 за 706*30/(10*0.001) = 24 дня. И это при том, что таких экспозиций на пластину нужно несколько. Это и был один из существенных факторов, ограничивающих распространение электронной литографии (такая однолучевая система не сложнее сканирующего электронного микроскопа — а они продавались уже в 1965 году).

Может быть можно увеличить ток в луче?

Электронрезист
Одна из оставшихся проблем — электроны не просто экспонируют электрон резист при попадании, а постепенно теряют энергию, двигаясь в его толще случайно меняя направление. Бороться с этим эффектом отчасти можно снижая энергию электронов (=скорость) — но это заставляет снижать и ток, чтобы электроны не начали «расталкивать» друг друга в полете. Mapper использует энергию 5 kV, соответственно объем, в котором рассеиваются электроны намного меньше изображенного на первой фотографии в статье.

Принцип работы многолучевой системы

Дла сравнения, система Mapper — слева, справа — классический однолучевой электронный микроскоп.
В классической системе — луч от электронной пушки (сверху) фокусируется электростатическими линзами и отклоняется в нужное место отклоняющими катушками или электростатическими дефлекторами. Напрямую масштабировать такую систему было бы затратно — пришлось бы все элементы конструкции дублировать.

У Mapper — один мощный источник электронов, коллиматор (электростатическая линза, фокусирующих их так, чтобы получался широкий параллельный пучок электронов). Затем этот широкий пучок попадает на матрицу бланкеров (на фото справа) — фактически пластина с дырками, у одной из стенок которых — отклоняющий электрод. Когда на электрод подают напряжение — электроны отклоняются и не попадают дальше никуда. Если тока нет — так параллельным пучком и летят дальше. В прототипе системы количество лучей было 7x7, сейчас делают «боевую» систему с 13тыс лучей (фактически просто больше «дырок» и соединений к ним и все).

Изначально (~2008 год) Mapper хотел управлять этими отклоняющими электродами с помощью лазера, видимо чтобы проводники не вносили искажений в «не свои» каналы.

Поскольку даже 13000 лучей не достаточно, чтобы покрыть полосу шириной 26мм с одного прохода — ниже идут индивидуальные дефлекторы, которые могут отклонять каждый луч примерно на 2 микрометра вдоль одной оси (перпендикулярно движению пластины). И наконец — для каждого луча своя электростатическая линза для фокусировки.

В результате такую систему намного проще масштабировать — все эти микропластинки с «дырками» изготавливаются по уже отработанным MEMS техпроцессам на серийных заводах, и при необходимости их можно масштабировать и дальше. Электронная оптика максимально упрощена (=удешевлена) — за счет того, что отклонять каждый луч нужно на совсем небольшое расстояние (2 микрона), да еще и вдоль одной оси. Судя по презентациям, в дальнейших планах — интеграция CMOS управляющей логики в MEMS устройства, что должно еще расширить возможности масштабирования системы.

Экспонирование всей пластины обеспечивается уже синхронным плавным движением самой пластины относительно установки. Этот метод уже давно применяется в серийных оптических сканерах — так что тут все проблемы уже решены.


Результаты и резюме

Прототип у Mapper работает, хотят добиться разрешения 16нм (с произвольной геометрией, оптическая литография на 193нм лазере в таких условиях выдает минимум 35-40нм). На начало 2014 года планировались первые запуски новой системы с 13тыс лучей. В серийное производство должно пойти в 2015-2016. Однако есть и ложка дегтя: сразу после получения денег от Роснано в конце 2012 года на сайте компании больше не было ни одной новости. Я им 2 раза писал на эту тему — молчат как рыба об лед.

При инвестировании Роснано обязало компанию перенести часть производства в РФ, и переносить планировали как раз микрооптику. Сделано это или нет на данный момент — не известно, на сайте Роснано написано, что что-то происходит в технополисе «Москва».

По стоимости конечного аппарата — производитель ориентируются на стоимость, сравнимую с EUV сканерами из расчета на 1 пластину в час (~500тыс$/wph). Т.к. максимальная производительность у Mapper на одной установке получается 10 пластин в час, для получения тех же ~100 пластин в час — систему предлагается ставить в нескольких экземплярах.

Когда система пойдет в серийное производство — можно ожидать дальнейшего снижения стоимости, т.к. тут нет самых больных мест оптической фотолитографии — источника света (и EUV и ArF лазеры стоят больших денег), сложного и чудовищно дорогого объектива и фотошаблонов, которые нужно изготавливать для каждого нового типа изготовляемых микросхем. А электронная микрооптика — изготовляется серийно хоть в миллионе экземпляров без проблем.

Появление таких систем — обещает также снизить стоимость мелкосерийных микросхем, появится альтернатива FPGA с намного бОльшей производительностью.

Особенно такие системы нравятся военным и идеально вписываются в текущую российскую концепцию «маленького микроэлектронного производства двойного назначения». Однако, радоваться рано — Роснано лишь один из инвесторов и производитель в любом случае будет вынужден выполнять требования экспортного контроля всех стран, участвующих в разработке. А это значит, что получить такую систему в России по хорошему можно будет только для гражданских производств, а именно с ними (вернее с их отсутствием) у нас проблема — об этом я еще напишу подробнее.

Автор: Михаил Сваричевский
Источник: Habrahabr

«Крокус Наноэлектроника» выполнила первый коммерческий заказ

Компания «Крокус Наноэлектроника» (КНЭ), совместное предприятие РОСНАНО и Crocus Technology, выполнила первый коммерческий заказ на обработку пластин, размещенный Crocus Technology в конце декабря 2013 года.



Collapse )


Пресс-центр РОСНАНО

Выставка «Смотрите, это — НАНО!» пройдет на «ЗИЛе»

Научно-популярная выставка «Смотрите, это — НАНО!» пройдет с 11 по 16 октября в культурном центре «ЗИЛ» в рамках Фестиваля актуального научного кино «360⁰», организованного Политехническим музеем.



Collapse )